質量流量測量儀用于在工藝技術領域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中，還需要測量溫度和壓力或密度，因為氣體的密度或體積會因壓力的不同而發生變化。與之相反，質量流量的測量并不受壓力和溫度影響。8701 型數字式質量流量測量儀具有一個以硅芯片為基礎的傳感器（參見第 2 頁的描述），該傳感器直接處于旁路管道中。通過這種方式可以達到一個非常短的設備反應時間。當前流量會被作為模擬的標準信號輸出或者通過 RS 通訊輸出?？舍槍煞N不同的氣體對型號 8701 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。根據用戶要求的不同，在選擇與介質相接觸的接頭的材料時應確保，可利用所有的普通工藝氣體運行設備。典型用途是，在檢驗機構、環境技術、醫療技術、分析結束中測量氣體流量。

采用半導體技術的直接流量測量裝置，適合額定流量范圍 20 mlN/min 至 80 lN/min
高精度
反應快速
可選的現場總線
標稱流量范圍為0.010 l

N/min至

80升

N/分鐘

???高精度

?響應速度非?？?/p>

?可選：現場總線接口

8701型質量流量計適用于測量

大流量范圍。熱MEMS傳感器

直接位于氣流中，因此

達到非?？斓捻憫獣r間。

8701型可選擇校準兩個

不同的氣體；用戶可以在

這兩種氣體。作為電氣接口，

模擬標準信號和現場總線

可用。

技術數據

標稱流量范圍1）

（列名）

1000萬/分鐘）至80升

N/min（氮氣），

見第2頁的表格

量程1:50（2?…?100?%），根據要求更高量程

工作氣體中性，無污染氣體，

其他按要求

帶換算系數的標定氣體工作氣體或空氣

   大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

氣體溫度-?10?…?+?70°C（-?10?…?+?60°C，含氧）

環境溫度-?10?…?+?50°C

準確度

（預熱1分鐘后）

讀數的0.8%或

?0.3?%F.S.（滿標度）

重復性±?0.1?%F.S。

響應時間（t95%）<300毫秒

材料

身體?

住房

海豹

鋁或不銹鋼

PC（聚碳酸酯）或金屬

氟橡膠、三元乙丙橡膠

端口連接，美國標準錐管螺紋四分之一，G四分之一，旋入式配件或法蘭，

其他按要求

電子。連接

此外，對于現場總線：

插頭D-Sub 15針

帶PROFIBUS DP：插座M12 5針

帶CANopen：插座M15針

電源24 V DC

1） 標稱流量值是可測量的標定   大流量值。這個

標稱流量范圍定義了可能的標稱流量（滿標度值）范圍。

2） 指數N：流速參考1.013巴和0°C。

或者，有一個指數S，它是指1.013巴和20°C

質量流量傳感器根據以下熱原理工作：

具有提供獨立于

壓力和溫度。

總氣流的一小部分被轉移到

設計旁路通道，確保層流條件。

傳感器元件是浸入該流道壁中的芯片。

該芯片采用MEMS技術制造，包含一個加熱電阻和

對稱布置的兩個溫度傳感器（熱電堆）

加熱器的上游和下游。的差動電壓

熱電堆是測量通過流量傳感器的質量流量。

校準程序實現傳感器的分配

通過裝置的總流量信號。

關于單位選擇的說明

流體相容性、正常入口壓力和正確的

流量計量程的選擇。MFM上的壓降取決于流速和工作壓力。