工作原理：

　　利用外部熱源對管道內被測量的氣體進行加熱，熱能隨著氣體一起流動，通過測量管道內因氣體流動而產生的熱量變化，即：氣體通過管路前后的溫度變化，來計算氣體的質量流量。另一種方法是通過測量加熱氣體時氣體溫度上升到某一點所需要的能量和氣體質量之間的關系來計算得到氣體的質量流量。

　　

　　儀器內的傳感器通常由兩個基準級熱電阻組成，一個是速度傳感器，另一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。當這兩個熱電阻被置于管道內被測氣體中時，其中速度傳感器被加熱，另一個溫度傳感器則用于測量氣體的溫度。隨著氣體的流量增大，帶走的熱量就上升，那么溫度傳感器自身的溫度就會下降。而溫度傳感器前后的溫度變化值與通過該管路內的氣體的質量流量恰恰是成線性比例的，由此工作原理則可推算出氣體的質量流量。

　　

　　質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。