8741 型必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。 8741 型借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

采用 MEMS 技術直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現場總線通信基于 CANopen
質量流量控制器（MFC）/質量流量

氣體流量計

?標稱流量范圍為0.010 l

N/min至160 lN/min

?高精度和重復性

?響應速度非常快

?通過配置存儲器方便地進行設備交換

?可選：USP六級，FDA，例如1935合規性

氣體質量流量控制器（MFC）/流量計（MFM）8741型適用于氣體

適用于廣泛的應用，并提供工業以太網、模擬或現場總線接口。基于CANopen的Bürkert系統版本

總線（büS）適合與現有的CANopen網絡集成，

以及工業以太網或現場總線網絡與

ME43型現場總線網關。第二個選項是為具有多個控制回路的應用程序量身定做的。 多可將32個MFC/MFM連接到一個

現場總線網關。ME43型將基于CANopen的內部通信轉換為工業以太網和現場總線的行業標準。

質量流量控制器/儀表始終可以在büS和

CANopen通信。

8741型可配置為MFM或MFC。可選， 多四種不同

氣體校準可以存儲在設備中。熱MEMS傳感器是

直接位于氣流中，因此響應非常快

時代。直接作用比例閥作為調節單元，保證高

敏感。集成的PI控制器保證了MFC/MFM的優異控制特性。

微機電系統

測量和重復精度高

反應時間非常之短

卡諾彭

產品特性

材料

主體鋁或不銹鋼

外殼PC（聚碳酸酯）

密封FKM或EPDM（氣體分離）

尺寸詳細信息見第3章。尺寸”第5頁

總重量約500 g（鋁體）

防護等級IP20

配置存儲器（出廠時附帶）工業?SIM卡，便于更換

基于NAMUR NE107的設備狀態RGB-LED

電氣數據

24 V直流電源

電壓公差±10%

殘余波紋±2%

功耗1.）1…3 W（以MFM計）

 大3…19.5 W（與MFC一樣，取決于電磁控制閥的類型）

電氣連接（可選）

工業以太網PROFINET、以太網/IP、以太網CAT、Modbus TCP，通過2 x RJ45（交換機）2.）

現場總線büS（基于CAN的總線）/CANopen，通過接線盒，4針

模擬4…20毫安，0…20毫安，0…10伏或0…5伏，通過D-Sub 93）或接線盒6引腳

輸入阻抗>20 kΩ（電壓）或<300Ω（電流）

 大電流：10mA（電壓輸出）； 大負載：600Ω（電流輸出）

性能數據

標稱流量范圍（Qln/10 mlN/min）

)

調節比1:50，可選1:100

 大工作壓力

（超壓至大氣壓力）

10 bar（145 psi），對于MFC， 大工作壓力取決于介質和

閥門公稱通徑

測量精度±0.8%o.R.±0.3%F.S.（預熱1分鐘后）

重復性±0.1%F.S。

沉降（MFC）/響應（MFM）時間（t95%）<300毫秒

控制閥（比例閥）常閉

閥孔范圍0.05…8 mm

KVS值范圍0.00006…1.1 m3

/h

中等數據

工作介質為中性、無污染氣體，其他按要求提供

校準介質工作氣體或空氣

介質溫度-10°C…+70°C（-10°C…+60°C，含氧）

產品連接

端口連接NPT?、G?、法蘭、卡環或真空接頭，其他按要求提供

環境與安裝

環境溫度-10…+50°C（可根據要求提高溫度）

水平或垂直安裝

配件

軟件Bürkert通信器

1.）數據指典型的功耗（在23°C環境溫度、標稱流量和30分鐘控制模式下）。符合UL 61010-1 can的規范

不同（見使用說明書）。

2.）通過獨立接線盒的電源電壓

3.）帶D-Sub 9的模擬版本具有額外的數字輸入和繼電器輸出