8713 型質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現*速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8713 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信*采用數字形式，這樣一來，就可以省去額外的數模轉換。8713 型質量流量控制器適合多樣化應用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。

標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
調控速度特別快
通過 RS485 進行數字通信
緊湊型版本
8713型控制與工藝技術中大多數應用相關的氣體質量流量。測量值將在

根據

信號；如果存在控制差，則將控制值輸出到

比例閥將使用PI控制算法進行修改。由于

事實上，傳感器直接與氣體接觸，響應非常快

達到MFC的時間。這樣，質量流可以保持在

可以遵循固定值或預定義的配置文件，而不管

系統中的壓力變化或其他變化。8713型可選擇校準兩種不同的氣體，用戶可以在

這兩種氣體。作為控制元件的直接作用比例閥

保證了MFC的高靈敏度和良好的控制特性。

該儀器與主設備進行數字通信，無需進一步的A/D

需要轉換。可以使用MassFlowCommunicator軟件

用于參數化和診斷。

直接流量測量

MEMS.標稱流量技術

從10mln/min到80ln/min（N2）

?高精度和重復性

?沉降時間短

?緊湊的設計和數字通信

技術數據

標稱流量范圍1）

（Q標稱）

10mln/min2）至80ln/min（氮氣），

見表2

調低比為1:50，可根據要求提高調低比

工作氣體中性，無污染氣體，

應要求

校準氣體工作氣體或具有轉換系數的空氣

 大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

取決于閥門的孔

氣體溫度-10至+70°C（-10至+60°C，含氧）

環境溫度-10至+50°C3）

準確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（預熱1分鐘后）

重復性±0.1%F.S。

穩定時間（t95%）<300毫秒

材料

身體

住房

海豹

鋁或不銹鋼

金屬

FKM、EPDM

端口連接NPT?，G?，旋入式配件或底座，

其他應要求

控制閥

閥孔板

k

VS值

常閉式

0.05至4.0毫米

0.00006至0.32 m3/h

電氣。連接插頭D-Sub 9針

24 V直流電源

電壓公差±10%

殘余波紋<2%

功耗3.5-11.5瓦

（取決于使用的控制閥）

通過RS485（半雙工或全雙工）進行數字通信，

RS422

防護等級IP40

尺寸[mm]見圖紙第5-6頁

總重量約500 g（鋁體）

水平或垂直安裝

發光二極管

（默認功能，

其他可編程功能）

電源指示，

極限與誤差

二進制輸入

（默認功能，

其他可編程功能）

啟動自動調諧

二進制輸出

（默認功能，

其他可編程功能）

一個繼電器輸出：

1限制（未達到設定值）

 大負載：25V，1A，25VA

1） 標稱流量值是可控制的 大標定流量值。這個

額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。

2） 指數N：指1.013 bar和0°C的流量。

或者，指數S指1.013巴和20°C

3） 使用內部5W閥門時： 高40°C
實際流量由傳感器檢測。這是根據

其優點是在不需要對所需壓力或溫度進行任何修正的情況下輸送質量流量的原理。

總氣流的一小部分被轉移到一個小的，專門設計的

旁路通道，確保層流條件。傳感器元件是

芯片浸沒在這個通道的壁上。芯片包含一個加熱電阻器

以及兩個溫度傳感器（熱電堆），它們對稱地布置在加熱器的上下游。熱電堆的壓差

是通過該旁通通道的質量流量的測量值。校準

程序實現傳感器信號對總流量的為一分配

通過設備的速率。